日本进口SMC平稳通气阀

日本进口SMC平稳通气阀

平稳通气阀 XVD 
●阀与针阀一体构造，所占空间仅为原型号的1/4
●(阀芯)座部分使用间隙隔膜，微粒大幅削减
●初期给气和主给气的流量可调

日本进口SMC平稳通气阀

● 省空间
阀和针阀一体化构造，配管
空间减1/4(与原来比)。
● 阀座部上采用金属膜片，
故微粒大幅减少。
● 初期给气、主给气都可流
量调整。
孔口径(ø3)
平稳通气阀
接头尺寸(1/4)
接头种类
V
S
VCR®用
Swagelok®用
XVD 2 V — 02
让真空室返回大气时，全量的供给压力(洁净空气/N2)一起导入室内会卷起微
粒。为防止这个，初期给气慢慢导入，到设定压力后，切换主阀回路再全量供给。

直动式电磁阀
原理：通电时，电磁线圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起，阀门打开；断电时，电磁力消失，弹簧把关闭件压在阀座上，阀门关闭。 
特点：在真空、负压、零压时能正常工作，但通径一般不超过25mm。
分布直动式电磁阀
原理： 它是一种直动和先导式相结合的原理，当入口与出口没有压差时，通电后，电磁力直接把先导小阀和主阀关闭件依次向上提起，阀门打开。当入口与出口达到启动压差时，通电后，电磁力先导小阀，主阀下腔压力上升，上腔压力下降，从而利用压差把主阀向上推开；断电时，先导阀利用弹簧力或介质压力推动关闭件，向下移动，使阀门关闭。
特点： 在零压差或真空、高压时亦能可靠动作，但功率较大，要求必须水平安装。
先导式电磁阀
原理：通电时，电磁力把先导孔打开，上腔室压力迅速下降，在关闭件周围形成上低下高的压差，流体压力推动关闭件向上移动，阀门打开；断电时，弹簧力把先导孔关闭，入口压力通过旁通孔迅速腔室在关阀件周围形成下低上高的压差，流体压力推动关闭件向下移动，关闭阀门。
特点： 流体压力范围上限较高，可任意安装(需定制)但必须满足流体压差条件。