日本SMC压力调整器工艺气体用减压阀

日本SMC压力调整器工艺气体用减压阀

减压阀(压力调整器) 高纯度工艺气体用 AP/SL/AP/AZ 
●适用于半导体产业等高纯度的气体供给
●阀体材质: SUS316L 二次熔炼或SUS316L
●接气部电解抛光处理
●外部间隙密封构造

日本SMC压力调整器工艺气体用减压阀

1顺时针调节手轮，调压弹簧被压缩，推动膜片组件下移，通过阀杆，打开阀芯，则入口气压力经阀芯节流降压，压力输出

2出口压力气体经反馈管进入膜片下腔，在膜片产生一个向上的推力。当此推力与调压弹簧力平衡时，出口压力便稳定一定在值。

3SMC减压阀特点

●体积小，重量轻。

● 比传统的精密减压阀IR200输出流量大。

● 比传统的精密减压阀IR200溢流流量大。

● 压力设定精确。

● 调节螺钉的齿间距由传统的0.75mm改为0.5mm。

● 安装方便，可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合元件AF及AFM直接安装。

● 标准型也带面板安装。

● 先导排气口与主排气口分开。

● 可在洁净房使用(特注产品)。

4SMC减压阀产品系列

1微型减压阀 ARJ

特长：

小型、轻量(16g)

低开启压力0.02MPa

标准规格带逆流功能。

集装板(可选项)

设定压力：0.1-0.7Mpa

2先导式减压阀 AR

特点：内部先导式溢流型。

设定压力：0.02-0.83Mpa

3MR单元(带油雾分离器的减压阀) AMR

特长：油雾分离器和减压阀一体化。

过滤精度：0.3μm。

设定压力：0.05～0.85 Mpa

4小型集装型减压阀 ARM5

特长：可以根据配置条件自由选择。手轮位置：上、正面、下

配管方向：上、下

快换接头种类：直通接头、弯头接头

可更换快换接头种类、尺寸。

对应逆流功能标准。

对应数字式压力开关。

设定压力：0.05～0.7Mpa